突破传统检测极限。通过 360° 环形运动采集与实时三维重建技术,为 PCB、半导体及新能源电池提供微米级、无损的内部缺陷透视方案。
















具备完整的三维成像与自动判别能力,可对焊点及内部结构进行立体分析,提升缺陷识别可靠性。
无需破坏电路板结构,可任意选择切片层数,实现对内部焊点与堆叠结构的精细观察。
根据元件尺寸与锡球大小灵活设置检测分辨率,最高像素精度可达 5μm,适配多种封装类型。
可根据检测需求灵活平衡测试时间与图像清晰度,系统最高分辨率可达 8μm,兼顾效率与质量。
采用高速边扫描边重建算法,在扫描过程中同步完成三维数据计算,满足在线检测节拍要求。
最大 118° 射线锥角设计,有效提升纵向分辨率,适用于 PoP、Flip Chip 等复杂堆叠封装分析。
| 基础规格 | 整机尺寸 | 2150 × 1420 × 1930 mm |
|---|---|---|
| 对接高度 | 900 ± 20 mm | |
| 样品承重 | < 10 kg | |
| 净空要求 | Top: 60 mm;Bottom: 40 mm | |
| 检测对象 | 厚度范围 | 0.6 – 5 mm |
| 兼容尺寸 | 50×50 mm ~ 510×510 mm | |
| X-Ray 系统 | 射线源 | 高精度封闭式射线源 (<150 kV) |
| 辐射安全 | X-Ray 泄露 <0.5 μSv/h | |
| 探测器 | CMOS (2340×2813 矩阵 / 49.8μm 像素) | |
| 性能指标 | 检测精度 | 最高约 5 μm |
| 3D 成像速度 | 最快约 2 s 内 |